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磁控溅射TiAlSiN等离子体特性与成膜机理研究 学位论文
博士论文，北京: 中国科学院研究生院, 2012
作者:  高方圆
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Si含量对CrAlSiN薄膜结构及摩擦性能的影响研究 学位论文
硕士论文，北京: 中国科学院研究生院, 2011
作者:  陈支通
Adobe PDF(7286Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：652/10  |  提交时间：2011/12/30