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Application of positive pulse to extract ions from HiPIMS ionization region 期刊论文
VACUUM, 2022, 卷号: 204, 页码: 11
作者:  Li, Liuhe;  Gu, Jiabin;  Xu Y(许亿);  Han, Mingyue;  Bilek, MarcelaMilenaMarie
Adobe PDF(11984Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：124/48  |  提交时间：2022/12/20
High power impulse magnetron sputtering  (HiPIMS)  Ions extraction method  PIC-MCC simulation  Microscopic mechanism of ions extraction