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Deflections and Curvatures of a Film–Substrate Structure with the Presence of Gradient Stress in MEMS Applications 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2007, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 753-762
作者:  张吟
Adobe PDF(555Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：526/156  |  提交时间：2007/06/15