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Flexural contact in MEMS stiction 期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF SOLIDS AND STRUCTURES, 2012, 卷号: 49, 期号: 17, 页码: 2203-2214
作者:  Zhang, Yin;  Zhao, Ya-pu;  Zhang, Y;  Chinese Acad Sci, State Key Lab Nonlinear Mech, Inst Mech, Beijing 100190, Peoples R China.
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Stiction  Contact Mechanics  Mems  Adhesion  Arc-shape  S-shape