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深亚微米刻蚀与等离子体源 期刊论文
中国科学基金, 1996, 期号: 1, 页码: 31
作者:  吴汉明
Adobe PDF(359Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/113  |  提交时间：2009/08/03
等离子体源  亚微米刻蚀  挑战性问题