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扩硼Si在连续CO_2激光辐照后的特性 期刊论文
半导体学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 340-342
作者:  李元恒;  张玉峰;  吴书祥;  杜永昌
Adobe PDF(199Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：526/124  |  提交时间：2009/08/03
连续co_2激光  激光辐照  薄层电阻  扩硼  激光功率密度  辐照后  激光扫描速度  电激活  面密度