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Monte Carlo modeling of electron beam physical vapor deposition of yttrium 期刊论文
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2000, 卷号: 18, 期号: 6, 页码: 2937-2945
作者:  Fan J(樊菁);  Boyd ID;  Shelton C
Adobe PDF(415Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：625/240  |  提交时间：2013/04/23