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DESIGN,FABRICATION,TESTING AND MECHANICAL ANALYSIS OF BULK-MICROMACHINED FLOWMETERS 期刊论文
Acta Mechanica Sinica, 2004, 期号: 2, 页码: 152-158
作者:  Wang XB(王小保);  Qian J(钱劲);  Zhang DC(张大成)
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Micromachined Flowmeters  Bulk-micromachining  Piezoresistivity  Wheatstone Bridge  
大流量压阻式流量传感器的研制 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 449-451
作者:  王小保;  钱劲;  张大成
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差压  流量传感器  微机械加工  压敏电阻  
微电子机械系统中的残余应力问题 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 393
作者:  钱劲;  刘澂;  张大成;  赵亚溥
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微电子机械系统  残余应力  薄膜  屈曲  粘附  响应频率  
Residual Stresses in Micro-Electro-Mechanical Systems 期刊论文
机械强度, 2001, 期号: 4, 页码: 393-401
作者:  Qian J(钱劲);  Liu C(刘澄);  Zhang DC(张大成)
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