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磁控溅射TiAlSiN等离子体特性与成膜机理研究 学位论文
博士论文,北京: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  高方圆
Adobe PDF(4023Kb)  |  Favorite  |  View/Download:423/5  |  Submit date:2013/01/08