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CMP润滑方程的Chebyshev加速超松弛法求解 期刊论文
自然科学进展, 2007, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1724-1728
作者:  高太元;  李明军;  高智
Adobe PDF(643Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：607/161  |  提交时间：2010/05/03
化学机械抛光  润滑方程  压力分布模型  Chebyshev加速超松弛技术