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表面粗糙度对化学机械抛光工艺过程流动性能的影响 期刊论文
润滑与密封, 2009, 期号: 8, 页码: 33-38+52
作者:  魏红波;  谭援强;  高太元;  李明军
Adobe PDF(1097Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：578/166  |  提交时间：2010/05/03
化学机械抛光  润滑方程  粗糙表面  分形