中文版 | English

在结果中检索

IMECH-IR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Self-consistent kinetic modeling of low-pressure inductively coupled radio-frequency discharges 期刊论文
Journal of Applied Physics, 1996, 卷号: 80, 期号: 7, 页码: 3699-3704
作者:  Yang Y;  Wu HM(吴汉明)
Adobe PDF(283Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：659/258  |  提交时间：2009/08/03
Electron-distribution Function  Rf Discharge  Glow-discharge  Plasma Sources  
深亚微米刻蚀与等离子体源 期刊论文
中国科学基金, 1996, 期号: 1, 页码: 31
作者:  吴汉明
Adobe PDF(359Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/111  |  提交时间：2009/08/03
等离子体源  亚微米刻蚀  挑战性问题  
Self-consistent kinetic modeling of electron distribution function in a low-pressure inductively coupled plasma 期刊论文
Chinese Physics Letters, 1996, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 447-450
作者:  Yang Y;  Wu HM(吴汉明);  Yang, Y (reprint author), CHINESE ACAD SCI,INST MECH,BEIJING 100080,PEOPLES R CHINA.
Adobe PDF(237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：444/115  |  提交时间：2009/08/03
Discharge