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Study of electron-extraction characteristics of an inductively coupled radio-frequency plasma neutralizer 期刊论文
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: UNSP 025403
作者:  He JW(贺建武);  Ma LF(马隆飞);  Xue SW(薛森文);  Zhang C(章楚);  Duan L(段俐);  Kang Q(康琦)
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electron source  plasma cathode  RF neutralizer  RF plasma  anode spot