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Effect of bias voltage on the growth of super-hard (AlCrTiVZr)N high-entropy alloy nitride films synthesized by high power impulse magnetron sputtering 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2021, 卷号: 564, 页码: 10
作者:  Xu Y(许亿);  Li GD(李国栋);  Li G(李光);  Gao FY(高方圆);  Xia Y(夏原)
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High-entropy alloy nitride films  HiPIMS  Bias voltage  Plasma discharge characteristics  Microstructure  Hardness