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Fast deposition of diamond-like carbon films by radio frequency hollow cathode method 期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2013, 卷号: 534, 页码: 226-230
作者:  Pang XL;  Peng HL;  Yang HS;  Gao KW;  Wu XL(武晓雷);  Volinsky AA;  Yang, HS (reprint author), Univ Sci & Technol Beijing, Dept Mat Phys & Chem, Beijing 100083, Peoples R China.
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Diamond-like Carbon Films  Hollow Cathode  Deposition Rate  Raman Spectra  Nanohardness