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A moving-coil designed micro-mechanics tester with application on MEMS 期刊论文
Measurement Science & Technology, 2007, 卷号: 18, 期号: 11, 页码: 3612-3616
作者:  Huan Y(郇勇);  Zhang TH(张泰华);  Yang YM(杨业敏);  Zhang, TH (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech LNM, Beijing 100080, Peoples R China.
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Micro-mechanics  Tester  Design  Mems  Thin-films  Mechanical-properties  Nanoindentation Technique  
In-plane Load Measuring Technique for the Strength Test of MEMS Micro-cantilever 期刊论文
Chinese Science Bulletin, 2006, 卷号: 51, 期号: 23, 页码: 2819-2823
作者:  Huan Y(郇勇);  Zhang TH(张泰华);  Yang YM(杨业敏);  Huan, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech, Beijing 100080, Peoples R China.
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微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用 期刊论文
机械强度, 2005, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 331-334
作者:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  阮勇;  张大成
Adobe PDF(190Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1083/384  |  提交时间:2007/06/15
微电子机械系统  键合  微悬臂梁  强度  
电磁式微加速度计冲击校准装置 专利
发明专利. 电磁式微加速度计冲击校准装置, 专利号: ZL02291092.1, 申请日期: 2002-12-26, 授权日期: 2012-12-28
发明人:  张泰华;  郇勇;  杨业敏
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Micro/Nanomechanical and Tribological Properties of thin Diamond-Like Carbon Coatings 期刊论文
Chinese Journal of Aeronautics, 2003, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 47-51
作者:  Zhang TH(张泰华);  Liu DX;  Huan Y(郇勇);  Yang YM(杨业敏)
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Diamond-like Carbon s Microhardness  Nanoindentation  Nanoscratch  Solid Lubricating  
压阻式高量程微加速度计的冲击校准 期刊论文
传感器技术, 2003, 卷号: 22, 期号: 11, 页码: 78-80
作者:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  王钻开;  陆德仁
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微电子机械系统  微加速度计  Hopkinson杆  校准  
氮化钛沉积膜的摩擦性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2003, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 367-370
作者:  张泰华;  郇勇;  杨业敏
Adobe PDF(234Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:669/100  |  提交时间:2007/06/15
氮化钛薄膜  显微硬度  纳米压痕  纳米划痕  摩擦性能  
用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力 期刊论文
传感技术学报, 2003, 卷号: 16, 期号: 2, 页码: 128-131
作者:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  曾昭君
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微加速度计  Hopkinson    抗过载能力  
纳米硬度技术在表面工程力学性能检测中的应用 期刊论文
中国机械工程, 2002, 卷号: 13, 期号: 24, 页码: 2148-2151
作者:  张泰华;  杨业敏
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纳米压痕硬度  纳米划痕硬度  力学性能  表面工程  
MEMS材料力学性能的测试技术 期刊论文
力学进展, 2002, 卷号: 32, 期号: 4, 页码: 545-562
作者:  张泰华;  杨业敏;  赵亚溥;  白以龙
Adobe PDF(1600Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1535/533  |  提交时间:2010/05/03
微电子机械系统  力学性能  纳米压痕/划痕  弯曲  拉伸  扭转