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CMP流场的数值模拟及离心力影响分析 期刊论文
力学学报, 2008, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 729-734
作者:  高太元;  李明军;  胡利民;  高智
Adobe PDF(666Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：793/128  |  提交时间：2010/05/03
化学机械抛光  离心力  润滑方程  压力分布  Chebyshev加速超松弛技术