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Effect of ion-beam assisted deposition on the film stresses of TiO2 and SiO2 and stress control 期刊论文
ACTA MECHANICA SINICA, 2012, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 1382-1388
作者:  Li YQ(李玉琼);  Wang HQ;  Wang WY;  Yu ZN;  Liu HS(刘河山);  Jin G(靳刚);  Jin, G
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Film Stress  Stress Controlling  Ion-beam Assisted Deposition  Hartmann-shack Sensor  Thin-films  Residual-stress