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DESIGN,FABRICATION,TESTING AND MECHANICAL ANALYSIS OF BULK-MICROMACHINED FLOWMETERS 期刊论文
Acta Mechanica Sinica, 2004, 期号: 2, 页码: 152-158
作者:  Wang XB(王小保);  Qian J(钱劲);  Zhang DC(张大成)
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Micromachined Flowmeters  Bulk-micromachining  Piezoresistivity  Wheatstone Bridge