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微梁传感器弹性模量的测试 期刊论文
中国科学技术大学学报, 2006, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 567-572
作者:  张天林;  郭哲颖;  张青川;  张泰华;  何世平
Adobe PDF(262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：583/225  |  提交时间：2007/06/15
微悬臂梁式传感器  红外探测器  弹性模量  谱面滤波  多普勒测振仪  纳米硬度计