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Atomistic Insights on Surface Quality Control via Annealing Process in AlGaN Thin Film Growth 期刊论文
NANOMATERIALS, 2023, 卷号: 13, 期号: 8, 页码: 1382
作者:  Peng Q(彭庆);  Ma ZW(马知未);  Cai, Shixian;  Zhao S(赵帅);  Chen, Xiaojia;  Cao, Qiang
Adobe PDF(2490Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2023/06/15
AlGaN thin film  molecular dynamics simulations  laser annealing  atomistic structure