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微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 66-71
作者:  陈吉安;  杨春生;  周勇;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Ni膜微桥  Meme技术  力学特性