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纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248
作者:  张海霞;  张泰华;  郇勇
Adobe PDF(275Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1260/399  |  提交时间：2010/05/03
纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  Lpcvd  Pecvd