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微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 516
作者:  王立森;  胡宇群;  李志宏;  余同希;  赵亚溥
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微加速度计  体硅加工工艺  冲击载荷  失效分析  粘附  
硅基MEMS技术 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 523-526
作者:  郝一龙;  张立宪;  李婷;  张大成
Adobe PDF(307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：805/226  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  牺牲层  体硅工艺  深刻蚀  
应力集中和表面状态对疲劳强度影响的研究 期刊论文
机械强度, 1981, 期号: 3, 页码: 8-14
作者:  曾春华
Adobe PDF(514Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/146  |  提交时间：2009/08/03
疲劳强度  应力集中  晶间腐蚀  表面光洁度  表面状态  螺纹牙型  强度影响  加工工艺  圆弧半径