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磁控溅射阴极靶磁场分布的定量评价 期刊论文
材料热处理学报, 2010, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 153-157
作者:  高方圆;  李光;  夏原
Adobe PDF(332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：937/234  |  提交时间：2010/05/03
磁控溅射  磁场分布  结构参数  平行率