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强CO_2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应 期刊论文
中国激光, 1982, 卷号: 9, 期号: 8, 页码: 498-500,497
作者:  李元恒
Adobe PDF(200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:604/129  |  提交时间:2009/08/03
动态干涉  磷离子注入  反射率  非晶层  辐照  Co_2激光  非晶态  固相外延  Hene激光