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Influence of hysteresis effect on properties of reactively sputtered TiAlSiN films 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018, 卷号: 431, 页码: 160-164
作者:  Gao FY(高方圆);  Li G(李光);  Xia Y(夏原)
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Tialsin Films  Reactive Sputtering  Hysteresis Effect  Plasma Characteristics  Mechanical Properties  
Influence of hysteresis effect on properties of reactively sputtered TiAlSiN films 会议论文
5th Asian International Conference on Heat Treatment and Surface Engineering, Hangzhou, PEOPLES R CHINA, NOV 12-14, 2016
作者:  Gao FY(高方圆);  Li G(李光);  Xia Y(夏原);  Xia, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, 15 Beisihuanxi Rd, Beijing 100190, Peoples R China.
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Thin-films  Mechanical-properties  Coatings  Microstructure  Oxidation  Evolution  Al  Si