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电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型 会议论文
LHD2011夏季学术研讨会, 内蒙赤峰, 2011
作者:  李帅辉;  樊菁;  舒勇华
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电子束物理气相沉积（ebpvd）  非平衡蒸气粒子输运模型  自由分子流假设失效判据  金属蒸气粒子vhs  模型参数  直接模拟monte  Carlo（dsmc）方法  大面积均匀薄膜制备工艺  
Thickness And Component Distributions Of Yttrium-Titanium Alloy Films In Electron-Beam Physical Vapor Deposition 期刊论文
Science In China Series E-Technological Sciences, 2008, 页码: 1470-1482
作者:  Li SH(李帅辉);  Shu YH(舒勇华);  Fan J(樊菁);  Fan, J (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, Lab High Temp Gas Dynam, Beijing 100190, Peoples R China.
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Electron Beam Physical Vapor Deposition  Thin Film  Thickness And Species Distributions  Vapor Atom  Nonequilibrium Transport  Monte-carlo-simulation  Sphere Model  Evaporation  
Thickness and component distributions of yttrium-titanium alloy films in multi-electron-beam physical vapor deposition 会议论文
the 8th Vacuum Metallurgy and Surface Engineering, Shenyang, PEOPLES R CHINA, JUN 16-19, 2007
作者:  Li SH(李帅辉);  Shu YH(舒勇华);  Fan J(樊菁)
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Electron Beam Physical Vapor Deposition  Thin Film  Thickness And Species Distributions  Vapor Atom  Non-equilibrium Transport Keywords Plus:Monte-carlo-simulation  Sphere Model  Evaporation