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Rotating compensator sampling for spectroscopic imaging ellipsometry 会议论文
5th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, Albany, NY, MAY 23-29, 2010
作者:  Meng YH(孟永宏);  Jin G(靳刚);  Jin, G (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, 15 Bei Si Huan W Rd, Beijing 100190, Peoples R China
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Rotating Compensator  Spectroscopic Imaging Ellipsometry  Spectroscopic Ellipsometry  Imaging Ellipsometry  Ellipsometry  Nanofilm Pattern