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Rotating compensator sampling for spectroscopic imaging ellipsometry 期刊论文
Thin Solid Films, 2011, 卷号: 519, 期号: 9, 页码: 2742-2745
作者:  Meng YH(孟永宏);  Jin G(靳刚);  Jin, G (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, 15 Bei Si Huan W Rd, Beijing 100190, Peoples R China
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Rotating Compensator  Spectroscopic Imaging Ellipsometry  Spectroscopic Ellipsometry  Imaging Ellipsometry  Ellipsometry  Nanofilm Pattern  Microellipsometry  Design  Layers  
Rotating compensator sampling for spectroscopic imaging ellipsometry 会议论文
5th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, Albany, NY, MAY 23-29, 2010
作者:  Meng YH(孟永宏);  Jin G(靳刚);  Jin, G (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, 15 Bei Si Huan W Rd, Beijing 100190, Peoples R China
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Rotating Compensator  Spectroscopic Imaging Ellipsometry  Spectroscopic Ellipsometry  Imaging Ellipsometry  Ellipsometry  Nanofilm Pattern