中文版 | English

在结果中检索

IMECH-IR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Rotating compensator sampling for spectroscopic imaging ellipsometry 期刊论文
Thin Solid Films, 2011, 卷号: 519, 期号: 9, 页码: 2742-2745
作者:  Meng YH(孟永宏);  Jin G(靳刚);  Jin, G (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, 15 Bei Si Huan W Rd, Beijing 100190, Peoples R China
Adobe PDF(328Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：615/173  |  提交时间：2012/04/01
Rotating Compensator  Spectroscopic Imaging Ellipsometry  Spectroscopic Ellipsometry  Imaging Ellipsometry  Ellipsometry  Nanofilm Pattern  Microellipsometry  Design  Layers