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我国等离子体工艺研究进展 期刊论文
物理, 1999, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 388
作者:  吴承康
Adobe PDF(176Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1197/515  |  提交时间:2007/06/15
等离子体工艺  热等离子体  非平衡等离子体