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微电子机械系统中的残余应力问题 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 393
作者:  钱劲;  刘澂;  张大成;  赵亚溥
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微电子机械系统  残余应力  薄膜  屈曲  粘附  响应频率  
MEMS器件的计算机辅助设计与模拟 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 488
作者:  孙克豪;  钱劲;  张立宪;  余同希;  赵亚溥
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微电子机械系统  计算机辅助设计  模拟  数据库  
C_(60)自组装单分子膜的制备及其摩擦特性 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 507-510
作者:  任嗣利;  赵亚溥;  杨生荣;  孟永宏;  王占会
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微电子机械系统  自组装单分子膜  摩擦特性  C60  
微型材料的拉伸测试方法研究 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 430
作者:  张泰华;  杨业敏;  赵亚溥;  余同希;  孙庆平
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微电子机械系统  微型材料  拉伸  
七氟丁酸酐有序超薄膜的制备与结构 期刊论文
化学学报=Acta Chimica Sinica, 2001, 卷号: 59, 期号: 11, 页码: 1894-1897
作者:  任嗣利;  杨生荣;  王金清;  齐尚奎;  赵亚溥
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薄膜  自组装单分子层膜  七氟丁酸酐  Ultra-thin Film  聚乙烯亚胺  Hfba  微电子机械系统  Pei  Mems  Sams