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微电子机械系统中的残余应力问题 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 393
作者:  钱劲;  刘澂;  张大成;  赵亚溥
Adobe PDF(612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：808/229  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  残余应力  薄膜  屈曲  粘附  响应频率  
MEMS器件的计算机辅助设计与模拟 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 488
作者:  孙克豪;  钱劲;  张立宪;  余同希;  赵亚溥
浏览  |  Adobe PDF(538Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：760/223  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  计算机辅助设计  模拟  数据库