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Tensile Tests Of Micro Anchors Anodically Bonded Between Pyrex Glass And Aluminum Thin Film Coated On Silicon Wafer 期刊论文
Microelectronics Reliability, 2008, 页码: 1720-1723
作者:  Hu YQ(胡宇群);  Zhao YP(赵亚溥);  Yu TX(余同希);  Zhao, YP (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech, Beijing 100190, Peoples R China.
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