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A precise model for the shape of an adhered microcantilever 期刊论文
Sensors and Actuators A-Physical, 2011, 卷号: 171, 期号: 2, 页码: 381-390
作者:  Zhang Y(张吟);  Zhao YP(赵亚溥);  Zhang, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, State Key Lab Nonlinear Mech, Inst Mech, Beijing 100190, Peoples R China
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Stiction  Microcantilever  Adhesion  Arc-shape  S-shape  Finite Beam  Adhesion  Stiction  Mems  Contact  Force  Cantilevers  Foundation  Mechanics  Work