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电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型 会议论文
LHD2011夏季学术研讨会, 内蒙赤峰, 2011
作者:  李帅辉;  樊菁;  舒勇华
Adobe PDF(888Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：519/159  |  提交时间：2014/01/23
电子束物理气相沉积（ebpvd）  非平衡蒸气粒子输运模型  自由分子流假设失效判据  金属蒸气粒子vhs  模型参数  直接模拟monte  Carlo（dsmc）方法  大面积均匀薄膜制备工艺  
材料制备特种工艺力学(摘要) 期刊论文
力学与实践, 1989, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 35-36
作者:  薛明伦;  白以龙
Adobe PDF(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：542/137  |  提交时间：2009/08/03
实验技术  晶体生长  新型材料  中国科学院  制备工艺  材料制备  气动雾化  工艺技术  国防科学技术