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微机电系统多场耦合仿真分析 期刊论文
动力学与控制学报, 2004, 卷号: 2, 期号: 1, 页码: 70-74
作者:  高行山;  赵亚溥;  吕胜利;  邓子辰
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微电子机械系统  能量场耦合  计算机辅助设计