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一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 3, 页码: 70-75
作者:  崔海航;  李战华;  靳刚
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微流控  微阀  Pdms  
微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 66-71
作者:  陈吉安;  杨春生;  周勇;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
Adobe PDF(321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：611/173  |  提交时间：2010/05/03
Ni膜微桥  Meme技术  力学特性