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Gas void faction tool and its applications 会议论文
6th International Conference on Electronic Measurement and Instruments, TAIYUAN, PEOPLES R CHINA, AUG 18-21, 2003
作者:  Zhong XF(钟兴福);  Wu YX(吴应湘);  Li YH;  Piao YQ;  Zhong, XF (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, 15 Zhongguancun Rd, Beijing 100080, Peoples R China.
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CO_2激光诱导扩散的太阳电池初步研究 期刊论文
太阳能学报, 1984, 卷号: 5, 期号: 2, 页码: 211-213
作者:  李元恒;  端(木玉)英;  万景山;  于秋兰
Adobe PDF(113Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/106  |  提交时间：2009/08/03
太阳电池  饱和浓度  Co_2激光  Si片  激光诱导扩散  激光退火  激光器  样片  常规电池  
硅表层扩散杂质在CW-CO_2激光辐照后的电激活特性 期刊论文
北京大学学报(自然科学版), 1984, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 8-12
作者:  张玉峰;  杜永昌;  李大军;  李元恒
Adobe PDF(237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：475/123  |  提交时间：2009/08/03
薄层电阻  电激活  扩散杂质  扩硼  激光辐照  辐照后  固溶度极限  Co_2激光  面密度  
硅对CO_2激光的增强吸收 期刊论文
中国激光, 1983, 卷号: 10, 期号: 1, 页码: 28-29,25
作者:  李元恒;  李春金
Adobe PDF(210Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/116  |  提交时间：2009/08/03
透射率  强吸收  Co_2激光  离子注入硅  反射率  激光退火  能量吸收  激光辐照  辐照区  
硅对强CO_2激光的雪崩吸收及其后果 期刊论文
中国激光, 1983, 卷号: 10, 期号: Z1, 页码: 660
作者:  李元恒;  张玉峰
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激光辐照  红宝石激光  载流子  透射率  功率密度  电激活  反射率  费米统计  温升速率  
CWCO_2激光辐照下硅的光吸收特性 期刊论文
光学学报, 1983, 卷号: 3, 期号: 6, 页码: 568-572
作者:  李元恒
Adobe PDF(236Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/116  |  提交时间：2009/08/03
光吸收特性  透射率t  Co_2激光  激光辐照  温升速率  自由载流子吸收  激光能量  空穴  热激发  
强CO_2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应 期刊论文
中国激光, 1982, 卷号: 9, 期号: 8, 页码: 498-500,497
作者:  李元恒
Adobe PDF(200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：604/129  |  提交时间：2009/08/03
动态干涉  磷离子注入  反射率  非晶层  辐照  Co_2激光  非晶态  固相外延  Hene激光  
强激光辐照下集成电路Si片的椭圆偏振光研究 期刊论文
中国激光, 1982, 期号: 5, 页码: 82
作者:  李元恒;  王振明
Adobe PDF(72Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：488/111  |  提交时间：2009/08/03
Si片  椭圆偏振光  强激光  辐照时间  激光退火  集成电路  样片  激光辐照  离子注入  
扩硼Si在连续CO_2激光辐照后的特性 期刊论文
半导体学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 340-342
作者:  李元恒;  张玉峰;  吴书祥;  杜永昌
Adobe PDF(199Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：529/126  |  提交时间：2009/08/03
连续co_2激光  激光辐照  薄层电阻  扩硼  激光功率密度  辐照后  激光扫描速度  电激活  面密度  
强CO_2激光退火时离子注入Si的光学性质 期刊论文
光学学报, 1982, 卷号: 2, 期号: 3, 页码: 285-288
作者:  李元恒;  王振明
Adobe PDF(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：574/141  |  提交时间：2009/08/03
离子注入  光学性质  激光退火  Co_2激光  注入层  激光辐照  椭圆偏振光  样片  反射率