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多源气相共沉积界面原子吸附行为与机理研究 会议论文
第十三届全国物理力学学术会议, 中国湖南湘潭, 2014-10-17
作者:  刘崇;  王连红;  舒勇华;  樊菁
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薄膜制备  入射粒子  吸附系数  沉积薄膜  共沉积  影响因素  物理气相沉积  分比  动力学模拟  高温超导