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磁控溅射AlCrTiVZr高熵合金薄膜及高温性能研究 学位论文
硕士论文,北京: 中国科学院大学, 2019
Authors:  文偲嘉
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高熵合金  耐高温性能  磁控溅射  微观结构  硬度  
NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性 期刊论文
金属热处理, 2017, 卷号: 42, 期号: 08, 页码: 15-19
Authors:  白巍栋;  李光;  夏原;  高方圆;  李占贤
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磁控溅射  钕铁硼磁体  铝锰合金薄膜  耐蚀性  
力学所建成高能冲击磁控溅射装备系统并开放服务 期刊论文
力学与实践, 2015, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 112
Authors:  高方圆
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力学所  表面工程  表面功能  先进制造工艺  磁控溅射  材料摩擦  开放服务  耐腐蚀性  装备研制  中国科学院  
磁控溅射阴极靶磁场分布的定量评价 期刊论文
材料热处理学报, 2010, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 153-157
Authors:  高方圆;  李光;  夏原
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磁控溅射  磁场分布  结构参数  平行率  
中频对靶反应磁控溅射Al_2O_3、TiO_2、ZrO_2功能薄膜的特性研究 期刊论文
新技术新工艺, 2008, 期号: 8, 页码: 101-104+4
Authors:  贾军伟;  潘文霞;  黄河激
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功能薄膜  磁控溅射  薄膜电阻