IMECH-IR

Browse/Search Results:  1-2 of 2 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
中频对靶反应磁控溅射Al_2O_3、TiO_2、ZrO_2功能薄膜的特性研究 期刊论文
新技术新工艺, 2008, 期号: 8, 页码: 101-104+4
Authors:  贾军伟;  潘文霞;  黄河激
Adobe PDF(502Kb)  |  Favorite  |  View/Download:391/102  |  Submit date:2010/05/03
功能薄膜  磁控溅射  薄膜电阻  
中频对靶磁控溅射沉积工艺及薄膜特性研究 学位论文
硕士论文,北京: 中国科学院研究生院, 2008
Authors:  贾军伟
Adobe PDF(2221Kb)  |  Favorite  |  View/Download:317/4  |  Submit date:2009/04/13