中文版 | English

在结果中检索

IMECH-IR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Microbridge testing of Young's modulus and residual stress of nickel film electroplated on silicon wafer 期刊论文
Acta Metallurgica Sinica(English Letters), 2004, 卷号: 17, 期号: 3, 页码: 247-254
作者:  Zhou Y;  Yang CS;  Chen JA;  Ding GF;  Wang L;  Wang MJ;  Zhang YM;  Zhang TH(张泰华)
浏览  |  Adobe PDF(475Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：172/44  |  提交时间：2015/09/14
Nickel Film Microbridge  Mems  Mechanical Property  Loadeflection Measurement