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Influence of hysteresis effect on properties of reactively sputtered TiAlSiN films 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018, 卷号: 431, 页码: 160-164
作者:  Gao FY(高方圆);  Li G(李光);  Xia Y(夏原)
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Tialsin Films  Reactive Sputtering  Hysteresis Effect  Plasma Characteristics  Mechanical Properties