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薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究 期刊论文
光子学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 737-741
作者:  魏成;  李喜德;  黄静波;  施惠基;  张泰华
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薄膜  微区域变形  微压痕  标记法  微缺陷