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电弧离子镀中脉冲偏压对TiN,CrN薄膜性能的影响 学位论文
硕士论文，北京: 中国科学院研究生院, 1999
作者:  李正阳
Adobe PDF(19949Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：577/3  |  提交时间：2009/04/13
脉冲  离子镀  薄膜  Pulse  Arc Deposition  Coating