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Flexural contact in MEMS stiction 期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF SOLIDS AND STRUCTURES, 2012, 卷号: 49, 期号: 17, 页码: 2203-2214
作者:  Zhang, Yin;  Zhao, Ya-pu;  Zhang, Y;  Chinese Acad Sci, State Key Lab Nonlinear Mech, Inst Mech, Beijing 100190, Peoples R China.
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Stiction  Contact Mechanics  Mems  Adhesion  Arc-shape  S-shape  
Contact Mechanics in Flexural MEMS Stiction 会议论文
第十二届全国物理力学学术会议, 中国广西桂林, 2012/11/12
作者:  Zhang Y(张吟);  Zhao YP(赵亚溥)
Adobe PDF(453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/196  |  提交时间：2014/01/27
Stiction  Adhesion  Microcantilever  Interface