| 水环境监测中BOD和总磷微传感器芯片系统基础研究 |
| 靳刚, 陈涉, 贾锐, 孙昀, 阚强
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| 2013-10-25
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| 摘要 | 研究利用MEMS加工工艺制备了一种超微电极阵列芯片，结合SU-8参比微池和电解质微池，制备了三电极集成的溶解氧电极。为了提高电极的响应速率，在电极表面修饰了石墨烯/纳米金属材料敏感膜，大大提高了BOD微传感器的响应电流；设计制备了集成有生物反应池和电化学反应池的片上BOD检测微系统，并对BOD标准样品进行了测试，结果表明该系统可对地表水环境质量标准的一类到五类水进行检测。 |
| 关键词 | 微传感芯片, 光电复合检测, 导电聚合物, 溶胀膜, 光波导, BOD, 总磷
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| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 科技报告
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| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/90567
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| 专题 | 微重力重点实验室
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| 作者单位 | 中国科学院力学研究所, 中国科学院力学研究所, 中国科学院微电子研究所, 中国科学院微电子研究所, 中国科学院半导体研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
靳刚, 陈涉, 贾锐, 孙昀, 阚强. 水环境监测中BOD和总磷微传感器芯片系统基础研究,2013.
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