| 一种具有高灵敏度的多层结构应变传感器 |
| 苏业旺; 周联巧; 李爽
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| 2022-11-15
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| 专利权人 | 中国科学院力学研究所
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| 摘要 | 本发明涉及应变传感器技术领域，提供了一种具有高灵敏度的多层结构应变传感器，包括传感器本体，传感器本体包括第一薄膜层，第一薄膜层连接有第二薄膜层，远离第一薄膜层侧的第二薄膜层连接有第三薄膜层，第一薄膜层和第二薄膜层及第三薄膜层之间设置有空腔，第一薄膜层上设置有应变核心区；第二薄膜层使第一薄膜层和第三薄膜层之间非直接连接，结合应变核心区参数设计使第一薄膜层上应变核心区的刚度较两侧区域的刚度更低，从而在第一薄膜层的应变核心区上产生更大的应变，由此实现了当被测物体变形较小时，也能够满足准确测量要求。 |
| 申请日期 | 2021-10-14
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| 授权日期 | 2022-11-15
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| 专利号 | ZL202111194918.0
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| 语种 | 中文
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| 授权国家 | 中国
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| 代理机构 | 北京和信华成知识产权代理事务所
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/91157
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| 专题 | 非线性力学国家重点实验室
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| 作者单位 | 中国科学院力学研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
苏业旺,周联巧,李爽. 一种具有高灵敏度的多层结构应变传感器. ZL202111194918.0[P]. 2022-11-15.
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文件名：
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CN113959327A.pdf
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格式：
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